大判SIC板の平面研削


高温焼結用棚板として使用されるSIC板は最近大判になり、1mを超えるサイズのものがある。精度の良いものを作るには研削によるが、素材の硬度が高く形状がよくないため研削が困難であった。当社では大型のロータリー研削盤と、切味の良いセグメントダイヤ砥石を開発し、短時間で精度の良い板を得ることに成功した。
  
写真(1)左 ロータリータイプ平面研削盤SDK-RSG2400M型(1.8m角板研磨可能)
写真(2)右 SIC研磨板寸法 1600mmx1200mmx5.4mm(素材厚10mm)
仕様
名称 寸法・仕様 備考
1. 研削可能最大寸法(長さ×巾) □1800mm
2. 主モータ出力 15Kw
3. 主モータ回転数 0〜500rpm
インバータVS
4. テーブル回転数 0〜100rpm
5. 切込み量 0〜0.130mm/pass



セグメントダイヤ砥石の仕様
名称 寸法・仕様 備考
1. 寸法(直径×長×巾×厚) 1200mm×8mm×5mm×100mm 75pcs
2. 仕様 140# メタレジ


加工例

切断条件
項目 条件データ 備考
1. 回転数 300rpm 1130m/min
2. テーブル回転数 4.5rpm
3. 切込み量 0.05mm/pass 全切込み量9.4mm
切断結果
項目 結果データ 備考
1. 加工時間 4時間20分 材料反転時間含む
2. 材料取りシロ 表裏で約4.6mm 材料研削体積8832m3
3. D砥石磨耗量 4mm 砥石損耗体積45m3
4. 研削比(GR) 196
5. 研削厚み精度 5.06〜5.41mm