大型シリコンの平面研磨


 太陽電池パネルはシリコンインゴットをブロックに細分した後、ブロックをスライスしパネルに加工されるが、太陽光発電用シリコンインゴットは太陽電池パネルの需要増加に対応するため大型化され長さ4mに達するものが出現し、ブロックに細分する工程で能率や精度向上のため柱状面の一面を研磨する事が必要となった。当社は、この工程に応えるSDK-G4000型を開発し400mm外径のダイヤモンド砥石で研削に成功した。
  
写真(1)左 長尺平面研削盤SDK-G4000型全景(380x380x2000Lシリコンインゴット)
写真(2)右 ダイヤモンドセグメントカップホイールによるシリコンインゴットの平面研削

名称寸法・仕様備考
名称 寸法・仕様 備考
1. 研削最大幅 500mm
2. 研削最大長さ 5000mm
3. 研削送り速度 100〜2000mm/min
4. 研削切込み量 0.01〜1mm
5. D砥石回転数 1000rpm
6. D砥石回転動力 11kW
7. 機械重量 約5ton

ダイヤモンド砥石の仕様
名称 寸法・仕様 備考
1. 寸法・形状 400φ×5w×7h×90t セグメントカップ
2. チップ仕様 SD60/80# メタルボンド

加工例
研削条件
項目 条件データ 備考
1. 研削取りシロ 約3mm
2. 切込み量 0.05mm/トラバース
3. 研削送り速度 1000mm/min トラバース当り4分

研削結果
項目 結果データ 備考
1. 最大研削負荷電流 18アンペア 無負荷時15アンペア
2. 研削時間 240分 4時間
3. D砥石磨耗量 0.01mm 研削比70000以上
4. 研削面精度 平面度0.05mm以内
5. 面粗度 10μm内外